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6.2 材料选型
6.2.1 特种气体管道和管件应采用奥氏体不锈钢无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。
6.2.2 腐蚀性气体管道，宜采用二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金材料的无缝钢管，内表面应进行洁净和钝化处理。
6.2.3 特种气体阀门的密封座材质应与气体性质匹配。
6.2.4 双层管的外层管道宜采用不锈钢管道，内层管道应按所输送特种气体的性质匹配。
6.2.5 特种气体系统的排气、尾气真空管道宜采用普通不锈钢管道，并应经过脱脂处理。
6.2.6 氧化性气体系统应采用专用禁油阀门、附件和管材，并应进行脱脂处理。
条文说明
6.2.1 工程实践表明，电子工厂特种气体和吹扫气体管道输送系统常用管道材料应采用 SS304、SS316、SS316L等不锈钢无缝钢管和HC-22哈氏合金无缝钢管等。根据特种气体品种和纯度、杂质含量要求，特种气体管道内表面应进行洁净和钝化处理;管道内表面粗糙度，对BA管道要求小于Ra40，EP管道要求小于 Ra25，为此，本条做此原则性规定。
6.2.2 普通不锈钢只进行初级熔炼，常用熔炼方式有氩氧脱碳AOD(Argon Oxygen Decarburization)、真空感应熔炼VIM(Vac-uum Induction Melt)。但输送腐蚀性特种气体，为减轻腐蚀，管道 材料宜采用经过二次熔炼(精炼)的工艺及真空电弧重熔VAR(Vacuum Arc Remelt)等工艺，二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金无缝钢管，此种管材具有较强的抗腐蚀性能，管道内表面进行EP处理，可同时满足洁净和钝化的目的。
6.2.3 近年来的工程实践表明，电子工厂的特种气体管道系统应采用隔膜阀、波纹管阀等。这些阀门的阀座密封材料应尽量减少应用塑料聚合物等材料的使用量，因为这些材料易逸出气体，容易影响气体纯度或引起化学反应。为此还应注意选些材料时应与具体特种气体的物理化学性质匹配，如氨气(NHз)禁止使用氟化橡胶(Viton)材料、笑气(N
2O
)应使用聚酰亚胺树脂(Vespel)材料等。6.2.2 普通不锈钢只进行初级熔炼，常用熔炼方式有氩氧脱碳AOD(Argon Oxygen Decarburization)、真空感应熔炼VIM(Vac-uum Induction Melt)。但输送腐蚀性特种气体，为减轻腐蚀，管道 材料宜采用经过二次熔炼(精炼)的工艺及真空电弧重熔VAR(Vacuum Arc Remelt)等工艺，二次真空电弧熔炼的奥氏体不锈钢或镍基合金无缝钢管，此种管材具有较强的抗腐蚀性能，管道内表面进行EP处理，可同时满足洁净和钝化的目的。
6.2.4 在保证安全和工艺要求的前提下，节省投资也是工程设计的重要内容。为此，本条规定了双层管的外管作为安全保护的第二道屏障，采用SS304材料即可满足要求，且一般不做特殊的洁净要求。
6.2.5 排气管道和尾气真空管道对管道材质没有特殊要求，采用SS304 管道即可满足要求，在实际工程中，也有排气管道采用PVC材料。
6.2.6 本条为强制性条文，必须严格执行。为避免管道内油脂与氧化性介质发生反应，产生燃烧等严重后果，本条规定管道氧化性气体管道应经过严格的脱脂处理。